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114/08/22
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國立臺北科技大學
教學型快速可擴充模組式多功物理氣相沉積系統
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得標
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$ 2,850,000
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114/06/20
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國立清華大學
多腔體物理氣相沉積系統一套
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得標
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$ 37,000,000
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114/05/29
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國立陽明交通大學
真空快速升溫退火系統二套
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得標
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$ 11,060,000
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114/05/28
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國立陽明交通大學
可攜式晶圓破片真空傳輸系統一套
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得標
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$ 2,000,000
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113/12/31
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國立陽明交通大學
研發型多波長光學量測系統之快速模組化橢圓偏振儀系統一套
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得標
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$ 2,000,000
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113/06/14
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中央研究院
原位多功物理氣相沉積系統
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得標
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$ 4,150,000
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